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第五十三章 追光行动(3)

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“计算光刻指的是利用各种物理,化学和数学模型去计算模拟真实光刻发生的过程和结果。

通过修改各种参数,寻找最优的参数组合来修正掩膜板的图形和光源形状,来提升光刻的质量。

这种模拟仿真的思路类似造飞机的时候需要经过很多次的风洞实验,都通过之后才能进行真正的试飞,否则既危险又成本高昂。

计算光刻已经成为现代光刻技术研发的核心和最重要的环节之一。”

那边的徐端颐也补充着,“量测,就是进行芯片的缺陷检测,判断芯片是否合格。

一个晶圆的制作可能包含近百次的曝光,由于每次曝光的间隔都需要对晶圆进行移动调整,为了保证移动的稳定和精准,避免出现小至几纳米的误差导致芯片报废,就需要不断的对晶圆在纳米尺度做量测,并且实现校正和结果的反馈,从而不断的提升良率……”

徐端颐的话还没说完,就被卿云展示出来的ppt给打断了,而后一脸便秘的望着台前正无良笑着的少年。

狗日的!

你便宜老师科普的时候你不打断,我特么说话的时候你就来打脸是吧!

手里的茶杯盖子都想呼在那臭屁小子的脸上了。

太不尊老了!

台上的卿云嘿嘿的笑着,“集成电路制造的主要流程大概是,opc、smo计算光刻-涂胶-曝光-显影-刻蚀-离子注入-光刻胶移除-沉积-下一层制程-量测检验。

这十大工序,如同上面光刻机器的七大系统,我都进行了考虑和安排……”

徐端颐的内心虽然被卿云突如其来的ppt展示打断而感到有些尴尬,但随即他的心中却涌起了一股莫名的欣喜。

他心中暗自思忖:“这小子,确实有两把刷子。这种打脸,打得我舒坦。这说明了,他确实对各个环节都了如指掌,并且一一做了预案。”

徐端颐望着卿云的眼神中,不禁流露出了赞许的神色。

他知道,卿云的准备充分,意味着整个项目的成功概率将会大大提高。

在科研领域,一个详尽的预案往往能够决定一个项目能否顺利进行。

这种被后辈以实力打脸的感觉,让他既感到有些没面子,但同时也感到欣慰。

他明白,他们已经老了,甚至这里坐着的不少人,其实已经到了油尽灯枯的年纪。

科研的未来需要依靠这些有准备、有远见的年轻人,而卿云,无疑是其中的佼佼者。

“小卿,你这准备……做得好!”

徐端颐毫不掩饰自己的赞赏,他的声音中透露出一丝宽慰,“有你这样的年轻人在,我们这些老骨头也就放心了。”

云帝微微一笑,他知道,这些前辈们的认可,是他前行路上最宝贵的支持。

他点了点头,认真地说道,“徐老爷子,您放心,我会尽我所能,确保每一步都走得稳健。”

那边一直没有说话的王守觉,此时皱着眉头问着,“小卿,我有个疑问,你能不能给我解惑?”

给大佬解惑?

面对华国半导体界的‘小王先生’,云帝自然是不敢这么托大的,请‘小王先生’但说无妨。

王守觉也没有客气什么,“小卿,你在开始就一直在向我们灌输商业循环的概念。

但是,涉及到光刻机的时候,我感觉……你仿佛并没有考虑光刻机本身的商业化。

因为你的讲解和方案里面,第一我没有看见你让小徐去规避专利技术,第二我也没有看见方案里面有集成化的参与。

你是不是漏了什么?”

说到这里,他赶紧摆了摆手,解释了一句,“我不是在质疑你的纲领和方案,只是觉得有些奇怪。呃……我不知道你是不是遗漏了。”

王守觉这么一说,倒是点醒了众多大佬,分分翻看着方案。

这个确实有瑕疵了。

光刻机最难的一步,便是整合。

卿云在台上无奈的笑了笑,“你们不用翻了,我就没有考虑过光刻机商业化的问题。”

他耸了耸肩膀,“各位前辈,你们认为我们造出来光刻机后,短期内能出口吗?”

说到这里,他双手一摊,“这都不是鸡和蛋的问题了。我认为,以终为始,只要我能把芯片造出来,里面采用的什么技术,我不关心。

反正我又不卖光刻机。

而光刻机器是什么形态的我不介意,哪怕你们造出来的,跟个足球场那么大,我也无所谓的。”

众人闻言,目瞪口呆。

而重生的云帝却觉得有点寂寞。

“诸位前辈,你们有没有注意到,除了浸没式光刻机外,我提及光刻机时,后面都加了个‘器’字。

我再说明白一点,哪怕你们造出来的光刻机器不能像asml、尼康佳能的光刻机一样可以移动都行,我直接在机器旁边建厂。”

华清大学的ssmb光刻工厂方案,放在西方是垃圾,但是结合华国的国情,却是一条最正确的路。

光刻机的小型化是为了商业化,以便运到各个生产厂里面去。

但是,在云帝看来,将光刻工厂国有化,变成一个基础建设设施,是最符合国情的。

如此,芯片这种未来战备性物质,国家也不必担心过渡商业化导致的资源损耗和不听号令。

没法子,华国实在是太大了。

人也太多了,英雄辈出的同时,特么的汉奸也不少,有的时候真的保不齐有这种为了钱为了什么命都不要的人。

可华清大学的ssmb方案,超出云帝的知识储备了,他也没办法还原出来,毕竟术业有专攻的。

不过,以他今时今日的咖位,将思路方向提出来后,自然有人会将这个想法去验证下去。

专业的事情交给专业的人去做。

既然前世华清大学的那群老阴比都能琢磨出这个方案来,自己提前十来年将方向提出来,没道理他们做不出来。

……

(本章完)

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